سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی

در این تحقیق، سیلیکون متخلخل به روش نوین حکاکی ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی سنتز شد و تغییرات خواص اپتیکی و ساختاری بر اساس درجه تخلخل نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. در این روش سطح زیر لایه های سیلیکونی ابتدا توسط روش اچینگ شیمیایی به مدت Td (زمان تاخیر) آماده سازی گردید. سپس در روش اچینگ الکتروشیمیایی حفره‌های اولیه تولید شده در مرحله قبل، امتداد یافته و سیلیکون متخلخل یکنواختی ایجاد شد. با بهینه کردن زمان تاخیر Td، میزان تخلخل و یکنواختی حفره‌ها بهینه شد. مطالعات مورفولوژی و مشخصه‌یابی الکترواپتیکی نشان داد که نمونه‌ای که با زمان تأخیر بهینه تولید شده است، خواص فیزیکی بهتری دارد و می‌تواند در ادوات نوری همچون آشکارسازهای نوری به طور موثری مورد استفاده قرار گیرد. به منظور بررسی خواص الکترواپتیکی نمونه‌های متخلخل، آشکارسازهای نوری فلز-نیمه‌هادی-فلز بر پایه سیلیکون متخلخل ساخته شد. برای این منظور، دو الکترود شانه ای شکل از جنس نیکل به روش لایه‌نشانی تبخیر حرارتی بر روی نمونه‌ها رشد داده شد و نمودار جریان – ولتاژ نمونه‌ها تحت تابش نور مرئی و در تاریکی، مورد بررسی قرار گرفت.